Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления

Новосибирский государственный университет. Номер патента: 51. дек. 09, 2021.

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

@misc{cf6c971395d54fdd85a8bdc50457c538,

title = "Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления",

keywords = "КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ",

author = "Dmitry Utkin and Шкляев, {Александр Андреевич}",

year = "2021",

month = dec,

day = "9",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "51",

}

TY - PAT

T1 - Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления

AU - Utkin, Dmitry

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2021/12/9

Y1 - 2021/12/9

KW - КРЕМНИЙ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ

KW - ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

KW - ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 51

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 34914098