Standard

Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. / Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич et al.

XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. ed. / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2011. p. 17-20.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Зарвин, АЕ, Каляда, ВВ, Коробейщиков, НГ, Прощенко, ВС, Ходаков, МД & Шмаков, АА 2011, Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. in ДВ Быков (ed.), XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. МИЭМ НИУ ВШЭ, Москва, pp. 17-20.

APA

Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., Коробейщиков, Н. Г., Прощенко, В. С., Ходаков, М. Д., & Шмаков, А. А. (2011). Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. In Д. В. Быков (Ed.), XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г. (pp. 17-20). МИЭМ НИУ ВШЭ.

Vancouver

Зарвин АЕ, Каляда ВВ, Коробейщиков НГ, Прощенко ВС, Ходаков МД, Шмаков АА. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. In Быков ДВ, editor, XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. Москва: МИЭМ НИУ ВШЭ. 2011. p. 17-20

Author

Зарвин, Александр Евгеньевич ; Каляда, Валерий Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич et al. / Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. editor / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2011. pp. 17-20

BibTeX

@inproceedings{173a55ff8a3b4581995499f6dd06fc94,
title = "Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей",
author = "Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Прощенко, {Виталий Сергеевич} and Ходаков, {Михаил Дмитриевич} and Шмаков, {Алексей Александрович}",
note = "Зарвин А.Е., Каляда В.В, Коробейщиков Н.Г., Прощенко В.С., Ходаков М.Д., Шмаков А.А. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей // XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции / М-во образования и науки Российской Федерации, Российское науч.-техническое вакуумное о-во, Гос. учреждение {"}Науч.-исслед. ин-т микроэлектроники и информ.-измерительной техники МИЭМ{"}, Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т). – Москва: МИЭМ, 2011. – С. 17-20.",
year = "2011",
language = "русский",
isbn = "978-5-94506-291-7",
pages = "17--20",
editor = "Быков, {Д. В.}",
booktitle = "XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции",
publisher = "МИЭМ НИУ ВШЭ",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Прощенко, Виталий Сергеевич

AU - Ходаков, Михаил Дмитриевич

AU - Шмаков, Алексей Александрович

N1 - Зарвин А.Е., Каляда В.В, Коробейщиков Н.Г., Прощенко В.С., Ходаков М.Д., Шмаков А.А. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей // XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции / М-во образования и науки Российской Федерации, Российское науч.-техническое вакуумное о-во, Гос. учреждение "Науч.-исслед. ин-т микроэлектроники и информ.-измерительной техники МИЭМ", Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т). – Москва: МИЭМ, 2011. – С. 17-20.

PY - 2011

Y1 - 2011

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=19599828

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-94506-291-7

SP - 17

EP - 20

BT - XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции

A2 - Быков, Д. В.

PB - МИЭМ НИУ ВШЭ

CY - Москва

ER -

ID: 27317793