Standard
Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. / Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич и др.
XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. ред. / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2011. стр. 17-20.
Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Harvard
Зарвин, АЕ, Каляда, ВВ, Коробейщиков, НГ, Прощенко, ВС, Ходаков, МД & Шмаков, АА 2011,
Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. в ДВ Быков (ред.),
XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. МИЭМ НИУ ВШЭ, Москва, стр. 17-20.
APA
Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., Коробейщиков, Н. Г., Прощенко, В. С., Ходаков, М. Д., & Шмаков, А. А. (2011).
Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. в Д. В. Быков (Ред.),
XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г. (стр. 17-20). МИЭМ НИУ ВШЭ.
Vancouver
Зарвин АЕ, Каляда ВВ, Коробейщиков НГ, Прощенко ВС, Ходаков МД, Шмаков АА.
Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей. в Быков ДВ, Редактор, XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции: Вакуум-2011. Судак, Республика Крым, Украина. 11 - 20 сентября 2011 г.. Москва: МИЭМ НИУ ВШЭ. 2011. стр. 17-20
Author
BibTeX
@inproceedings{173a55ff8a3b4581995499f6dd06fc94,
title = "Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей",
author = "Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Прощенко, {Виталий Сергеевич} and Ходаков, {Михаил Дмитриевич} and Шмаков, {Алексей Александрович}",
note = "Зарвин А.Е., Каляда В.В, Коробейщиков Н.Г., Прощенко В.С., Ходаков М.Д., Шмаков А.А. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей // XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции / М-во образования и науки Российской Федерации, Российское науч.-техническое вакуумное о-во, Гос. учреждение {"}Науч.-исслед. ин-т микроэлектроники и информ.-измерительной техники МИЭМ{"}, Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т). – Москва: МИЭМ, 2011. – С. 17-20.",
year = "2011",
language = "русский",
isbn = "978-5-94506-291-7",
pages = "17--20",
editor = "Быков, {Д. В.}",
booktitle = "XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов {"}Вакуумная наука и техника{"}, сентябрь 2011 г : материалы конференции",
publisher = "МИЭМ НИУ ВШЭ",
}
RIS
TY - GEN
T1 - Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Прощенко, Виталий Сергеевич
AU - Ходаков, Михаил Дмитриевич
AU - Шмаков, Алексей Александрович
N1 - Зарвин А.Е., Каляда В.В, Коробейщиков Н.Г., Прощенко В.С., Ходаков М.Д., Шмаков А.А. Формирование смешанных кластеров Ar – X для технологических процессов ионно-кластерной модификации поверхностей // XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции / М-во образования и науки Российской Федерации, Российское науч.-техническое вакуумное о-во, Гос. учреждение "Науч.-исслед. ин-т микроэлектроники и информ.-измерительной техники МИЭМ", Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т). – Москва: МИЭМ, 2011. – С. 17-20.
PY - 2011
Y1 - 2011
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=19599828
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-94506-291-7
SP - 17
EP - 20
BT - XVIII Научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника", сентябрь 2011 г : материалы конференции
A2 - Быков, Д. В.
PB - МИЭМ НИУ ВШЭ
CY - Москва
ER -
