Технология получения высокоупорядоченной ступенчатой поверхности Si (111) -7x7 › Research Explorer

Константин Николаевич Романюк (Author)
Александр Андреевич Шкляев (Author)

Original language	Russian
Patent number	6
Priority date	22.11.2011
Publication status	Published - 25 Nov 2011

ID: 27071979