Standard

Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич.

In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, No. 3, 10, 05.2024, p. 67–71.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ & Коробейщиков, НГ 2024, 'Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd', Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, no. 3, 10, pp. 67–71. https://doi.org/10.31857/S1028096024030101

APA

Николаев, И. В., & Коробейщиков, Н. Г. (2024). Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, (3), 67–71. [10]. https://doi.org/10.31857/S1028096024030101

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ. Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2024 May;(3):67–71. 10. doi: 10.31857/S1028096024030101

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич. / Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd. In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2024 ; No. 3. pp. 67–71.

BibTeX

@article{a62e47aa4b9b4e23a7934a13d512eb00,
title = "Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd",
abstract = "Рассмотрены особенности обработки поверхности монокристаллов калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима, низко- и высокоэнергетическими кластерными ионами аргона. Использованы два кардинально отличающихся режима обработки: низкоэнергетический для более эффективного сглаживания поверхности и высокоэнергетический для более эффективного травления мишени. С помощью метода атомно-силовой микроскопии проанализирована топография поверхности мишени до и после ионно-кластерной обработки. Показано, что обработка в низкоэнергетическом режиме сглаживает неровности на поверхности мишени, образованные химико-механической полировкой, при глубине травления менее 100 нм. Проведено сравнение среднеквадратичной шероховатости и максимального перепада высот исходной и обработанных поверхностей калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима. Приведены обзорные рентгеновские фотоэлектронные спектры исходной поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd и после ионно-кластерной обработки в различных режимах. Продемонстрировано, что интенсивности пиков калия и гадолиния снижаются после ионно-кластерной обработки в обоих режимах. Значительное снижение концентрации атомов калия в приповерхностном слое мишени объясняется преимущественным распылением калия как более легкого химического элемента. Взаимное снижение концентраций атомов гадолиния и калия может быть объяснено слабыми связями этих атомов в решетке монокристалла KGd(WO4)2:Nd.",
keywords = "МОНОКРИСТАЛЛ KGD(WO4)2:ND, ГАЗОВЫЙ КЛАСТЕР, ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ, ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ, РАСПЫЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ, РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич}",
note = "Николаев, И. В. Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd / И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2024. – № 3. – С. 65-69. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант № 21-19-00046) в части подготовки и обработки образцов и Министерства науки и высшего образования РФ (грант FSUS-2020-0039) в части анализа образцов с использованием оборудования ЦКП “Прикладная физика” НГУ.",
year = "2024",
month = may,
doi = "10.31857/S1028096024030101",
language = "русский",
pages = "67–71",
journal = "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования",
issn = "1028-0960",
publisher = "Научный и издательский центр {"}Наука РАН{"}",
number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

N1 - Николаев, И. В. Особенности ионно-кластерной обработки поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd / И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2024. – № 3. – С. 65-69. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант № 21-19-00046) в части подготовки и обработки образцов и Министерства науки и высшего образования РФ (грант FSUS-2020-0039) в части анализа образцов с использованием оборудования ЦКП “Прикладная физика” НГУ.

PY - 2024/5

Y1 - 2024/5

N2 - Рассмотрены особенности обработки поверхности монокристаллов калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима, низко- и высокоэнергетическими кластерными ионами аргона. Использованы два кардинально отличающихся режима обработки: низкоэнергетический для более эффективного сглаживания поверхности и высокоэнергетический для более эффективного травления мишени. С помощью метода атомно-силовой микроскопии проанализирована топография поверхности мишени до и после ионно-кластерной обработки. Показано, что обработка в низкоэнергетическом режиме сглаживает неровности на поверхности мишени, образованные химико-механической полировкой, при глубине травления менее 100 нм. Проведено сравнение среднеквадратичной шероховатости и максимального перепада высот исходной и обработанных поверхностей калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима. Приведены обзорные рентгеновские фотоэлектронные спектры исходной поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd и после ионно-кластерной обработки в различных режимах. Продемонстрировано, что интенсивности пиков калия и гадолиния снижаются после ионно-кластерной обработки в обоих режимах. Значительное снижение концентрации атомов калия в приповерхностном слое мишени объясняется преимущественным распылением калия как более легкого химического элемента. Взаимное снижение концентраций атомов гадолиния и калия может быть объяснено слабыми связями этих атомов в решетке монокристалла KGd(WO4)2:Nd.

AB - Рассмотрены особенности обработки поверхности монокристаллов калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима, низко- и высокоэнергетическими кластерными ионами аргона. Использованы два кардинально отличающихся режима обработки: низкоэнергетический для более эффективного сглаживания поверхности и высокоэнергетический для более эффективного травления мишени. С помощью метода атомно-силовой микроскопии проанализирована топография поверхности мишени до и после ионно-кластерной обработки. Показано, что обработка в низкоэнергетическом режиме сглаживает неровности на поверхности мишени, образованные химико-механической полировкой, при глубине травления менее 100 нм. Проведено сравнение среднеквадратичной шероховатости и максимального перепада высот исходной и обработанных поверхностей калий-гадолиниевого вольфрамата, легированного ионами неодима. Приведены обзорные рентгеновские фотоэлектронные спектры исходной поверхности монокристалла KGd(WO4)2:Nd и после ионно-кластерной обработки в различных режимах. Продемонстрировано, что интенсивности пиков калия и гадолиния снижаются после ионно-кластерной обработки в обоих режимах. Значительное снижение концентрации атомов калия в приповерхностном слое мишени объясняется преимущественным распылением калия как более легкого химического элемента. Взаимное снижение концентраций атомов гадолиния и калия может быть объяснено слабыми связями этих атомов в решетке монокристалла KGd(WO4)2:Nd.

KW - МОНОКРИСТАЛЛ KGD(WO4)2:ND

KW - ГАЗОВЫЙ КЛАСТЕР

KW - ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК

KW - АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

KW - МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ

KW - ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ

KW - РАСПЫЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ

KW - РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ

KW - ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67910991

U2 - 10.31857/S1028096024030101

DO - 10.31857/S1028096024030101

M3 - статья

SP - 67

EP - 71

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 3

M1 - 10

ER -

ID: 60095434