Standard

Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды. / Хижняк, Е. А.; Шаяпов, Владимир Равильевич; Корольков, Илья Викторович et al.

In: Журнал структурной химии, Vol. 66, No. 2, 140578, 2025.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Хижняк, ЕА, Шаяпов, ВР, Корольков, ИВ, Дудкина, СП, Гейдт, ПВ & Лебедев, МС 2025, 'Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды', Журнал структурной химии, vol. 66, no. 2, 140578. https://doi.org/10.26902/JSC_id140578

APA

Хижняк, Е. А., Шаяпов, В. Р., Корольков, И. В., Дудкина, С. П., Гейдт, П. В., & Лебедев, М. С. (2025). Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды. Журнал структурной химии, 66(2), [140578]. https://doi.org/10.26902/JSC_id140578

Vancouver

Хижняк ЕА, Шаяпов ВР, Корольков ИВ, Дудкина СП, Гейдт ПВ, Лебедев МС. Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды. Журнал структурной химии. 2025;66(2):140578. doi: 10.26902/JSC_id140578

Author

Хижняк, Е. А. ; Шаяпов, Владимир Равильевич ; Корольков, Илья Викторович et al. / Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды. In: Журнал структурной химии. 2025 ; Vol. 66, No. 2.

BibTeX

@article{ab5caa57b3dd43e28f0e048997c195b6,
title = "Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды",
abstract = "Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при 200-400 °C - пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких (450 и 500 °C) - пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.",
keywords = "ДИОКСИД ТИТАНА, АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, ОТЖИГ, АНАТАЗ, РУТИЛ, TITANIUM DIOXIDE, ATOMIC LAYER DEPOSITION, THIN FILMS, ANNEALING, ANATASE, RUTILE",
author = "Хижняк, {Е. А.} and Шаяпов, {Владимир Равильевич} and Корольков, {Илья Викторович} and Дудкина, {С. П.} and Гейдт, {Павел Викторович} and Лебедев, {Михаил Сергеевич}",
note = "Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды / Е. А. Хижняк, В. Р. Шаяпов, И. В. Корольков [и др.] // Журнал структурной химии. – 2025. – Т. 66, № 2. – С. 140578. – DOI 10.26902/JSC_id140578. – EDN QWDRMM. Работа поддержана Министерством науки и высшего образования Российской Федерации, проект № 121031700314-5.",
year = "2025",
doi = "10.26902/JSC_id140578",
language = "русский",
volume = "66",
journal = "Журнал структурной химии",
issn = "0136-7463",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды

AU - Хижняк, Е. А.

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Корольков, Илья Викторович

AU - Дудкина, С. П.

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Лебедев, Михаил Сергеевич

N1 - Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды / Е. А. Хижняк, В. Р. Шаяпов, И. В. Корольков [и др.] // Журнал структурной химии. – 2025. – Т. 66, № 2. – С. 140578. – DOI 10.26902/JSC_id140578. – EDN QWDRMM. Работа поддержана Министерством науки и высшего образования Российской Федерации, проект № 121031700314-5.

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при 200-400 °C - пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких (450 и 500 °C) - пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.

AB - Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при 200-400 °C - пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких (450 и 500 °C) - пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.

KW - ДИОКСИД ТИТАНА

KW - АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

KW - ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

KW - ОТЖИГ

KW - АНАТАЗ

KW - РУТИЛ

KW - TITANIUM DIOXIDE

KW - ATOMIC LAYER DEPOSITION

KW - THIN FILMS

KW - ANNEALING

KW - ANATASE

KW - RUTILE

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=80373000

UR - https://jsc.niic.nsc.ru/article/140578/

U2 - 10.26902/JSC_id140578

DO - 10.26902/JSC_id140578

M3 - статья

VL - 66

JO - Журнал структурной химии

JF - Журнал структурной химии

SN - 0136-7463

IS - 2

M1 - 140578

ER -

ID: 74043890