Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a SiOxNy:H

Standard

Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a SiOxNy:H. / Володин, В.А.; Камаев, Г.Н.; Гриценко, В.А. et al.

In: Журнал технической физики, Vol. 93, No. 4, 20, 03.2023, p. 575-582.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{45a56e08d4bb47078874850bbcc19a99,

title = "Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a SiOxNy:H",

abstract = "Пленки a-SiO x N y:H различного состава были получены методом плазмохимического осаждения из газовой смеси 10% моносилана (разбавлен аргоном) и азота в присутствии остаточного кислорода в рабочих газовых смесях. Расход азота изменялся в диапазоне от 4 до 6 cm 3 /min, мощность генератора высокой частоты (13.56 MHz) изменялась в диапазоне 50-150 W. Электронная структура и оптические свойства пленок были исследованы с применением рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, колебательной спектроскопии, спектроскопии пропускания и отражения и спектральной эллипсометрии. Показано, что при уменьшении мощности генератора повышается содержание избыточного кремния в пленках и возникают нанокластеры аморфного кремния. С увеличением мощности генератора в пленках снижается концентрация кислорода, что позволяет управлять составом пленок a-SiO x N y : H не только изменяя поток азота, но и варьируя мощность генератора. Ключевые слова: оксинитрид кремния, плазмохимическое осаждение, стехиометрический состав, нанокластеры кремния. ",

author = "В.А. Володин and Г.Н. Камаев and В.А. Гриценко and С.Г. Черкова and И.П. Просвирин",

note = "Володин В.А., Камаев Г.Н., Гриценко В.А., Черкасова С.Г., Просвирин И.П. Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy:H // Журнал технической физики. – 2023. – Т. 93. - № 4. – С. 575-582. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда, проект № 22-19-00369.",

year = "2023",

month = mar,

doi = "10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22",

language = "русский",

volume = "93",

pages = "575--582",

journal = "Журнал технической физики",

issn = "0044-4642",

publisher = "Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук",

number = "4",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a SiOxNy:H

AU - Володин, В.А.

AU - Камаев, Г.Н.

AU - Гриценко, В.А.

AU - Черкова, С.Г.

AU - Просвирин, И.П.

N1 - Володин В.А., Камаев Г.Н., Гриценко В.А., Черкасова С.Г., Просвирин И.П. Состав и оптические свойства аморфного плазмохимического оксинитрида кремния переменного состава a-SiOxNy:H // Журнал технической физики. – 2023. – Т. 93. - № 4. – С. 575-582. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда, проект № 22-19-00369.

PY - 2023/3

Y1 - 2023/3

N2 - Пленки a-SiO x N y:H различного состава были получены методом плазмохимического осаждения из газовой смеси 10% моносилана (разбавлен аргоном) и азота в присутствии остаточного кислорода в рабочих газовых смесях. Расход азота изменялся в диапазоне от 4 до 6 cm 3 /min, мощность генератора высокой частоты (13.56 MHz) изменялась в диапазоне 50-150 W. Электронная структура и оптические свойства пленок были исследованы с применением рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, колебательной спектроскопии, спектроскопии пропускания и отражения и спектральной эллипсометрии. Показано, что при уменьшении мощности генератора повышается содержание избыточного кремния в пленках и возникают нанокластеры аморфного кремния. С увеличением мощности генератора в пленках снижается концентрация кислорода, что позволяет управлять составом пленок a-SiO x N y : H не только изменяя поток азота, но и варьируя мощность генератора. Ключевые слова: оксинитрид кремния, плазмохимическое осаждение, стехиометрический состав, нанокластеры кремния.

AB - Пленки a-SiO x N y:H различного состава были получены методом плазмохимического осаждения из газовой смеси 10% моносилана (разбавлен аргоном) и азота в присутствии остаточного кислорода в рабочих газовых смесях. Расход азота изменялся в диапазоне от 4 до 6 cm 3 /min, мощность генератора высокой частоты (13.56 MHz) изменялась в диапазоне 50-150 W. Электронная структура и оптические свойства пленок были исследованы с применением рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, колебательной спектроскопии, спектроскопии пропускания и отражения и спектральной эллипсометрии. Показано, что при уменьшении мощности генератора повышается содержание избыточного кремния в пленках и возникают нанокластеры аморфного кремния. С увеличением мощности генератора в пленках снижается концентрация кислорода, что позволяет управлять составом пленок a-SiO x N y : H не только изменяя поток азота, но и варьируя мощность генератора. Ключевые слова: оксинитрид кремния, плазмохимическое осаждение, стехиометрический состав, нанокластеры кремния.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=53935268

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/ed6a64a5-3e2e-3847-ad95-5836be310e9d/

U2 - 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22

DO - 10.21883/jtf.2023.04.55047.167-22

M3 - статья

VL - 93

SP - 575

EP - 582

JO - Журнал технической физики

JF - Журнал технической физики

SN - 0044-4642

IS - 4

M1 - 20

ER -

ID: 55437658