Standard

Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии. / Генцелев, А.Н.; Кузнецов, Сергей Александрович; Дульцев, Федор Николаевич et al.

In: Автометрия, Vol. 55, No. 2, 2, 2019, p. 14-27.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Генцелев, АН, Кузнецов, СА, Дульцев, ФН, Гольденберг, БГ, Зелинский, АГ, Кондратьев, ВИ & Таныгина, ДС 2019, 'Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии', Автометрия, vol. 55, no. 2, 2, pp. 14-27. https://doi.org/10.15372/AUT20190202

APA

Генцелев, А. Н., Кузнецов, С. А., Дульцев, Ф. Н., Гольденберг, Б. Г., Зелинский, А. Г., Кондратьев, В. И., & Таныгина, Д. С. (2019). Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии. Автометрия, 55(2), 14-27. [2]. https://doi.org/10.15372/AUT20190202

Vancouver

Генцелев АН, Кузнецов СА, Дульцев ФН, Гольденберг БГ, Зелинский АГ, Кондратьев ВИ et al. Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии. Автометрия. 2019;55(2):14-27. 2. doi: 10.15372/AUT20190202

Author

Генцелев, А.Н. ; Кузнецов, Сергей Александрович ; Дульцев, Федор Николаевич et al. / Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии. In: Автометрия. 2019 ; Vol. 55, No. 2. pp. 14-27.

BibTeX

@article{1224420b7ee04b3e86b193488ea3c8fd,
title = "Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии",
abstract = "Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.",
keywords = "глубокая рентгеновская литография, LIGA-технология, микроструктуры, квазиоптические фильтры, терагерцовый диапазон",
author = "А.Н. Генцелев and Кузнецов, {Сергей Александрович} and Дульцев, {Федор Николаевич} and Гольденберг, {Борис Григорьевич} and А.Г. Зелинский and В.И. Кондратьев and Таныгина, {Дарья Сергеевна}",
note = "Геленцев А.Н., Кузнецов С.А., Дульцев Ф.Н., Гольденберг Б.Г., Зелинский А.Г., Кондратьев В.И., Таныгина Д.С. Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии // Автометрия. - 2019. - Т. 55. - № 2. - С. 14-27",
year = "2019",
doi = "10.15372/AUT20190202",
language = "русский",
volume = "55",
pages = "14--27",
journal = "Автометрия",
issn = "0320-7102",
publisher = "ФГУП {"}Издательство СО РАН{"}",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии

AU - Генцелев, А.Н.

AU - Кузнецов, Сергей Александрович

AU - Дульцев, Федор Николаевич

AU - Гольденберг, Борис Григорьевич

AU - Зелинский, А.Г.

AU - Кондратьев, В.И.

AU - Таныгина, Дарья Сергеевна

N1 - Геленцев А.Н., Кузнецов С.А., Дульцев Ф.Н., Гольденберг Б.Г., Зелинский А.Г., Кондратьев В.И., Таныгина Д.С. Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии // Автометрия. - 2019. - Т. 55. - № 2. - С. 14-27

PY - 2019

Y1 - 2019

N2 - Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.

AB - Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.

KW - глубокая рентгеновская литография

KW - LIGA-технология

KW - микроструктуры

KW - квазиоптические фильтры

KW - терагерцовый диапазон

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37268796

U2 - 10.15372/AUT20190202

DO - 10.15372/AUT20190202

M3 - статья

VL - 55

SP - 14

EP - 27

JO - Автометрия

JF - Автометрия

SN - 0320-7102

IS - 2

M1 - 2

ER -

ID: 22427176