Standard

Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич (Author); Зарвин, Александр Евгеньевич (Author); Каляда, Валерий Владимирович (Author) et al.

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 10. Dec 26, 2012.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Коробейщиков, НГ, Зарвин, АЕ, Каляда, ВВ & Шмаков, АА Dec. 26 2012, Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей, Patent No. 10.

APA

Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., & Шмаков, А. А. (2012). Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. (Patent No. 10). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Коробейщиков НГ, Зарвин АЕ, Каляда ВВ, Шмаков АА, inventors. Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. 10. 2012 Dec 26.

Author

Коробейщиков, Николай Геннадьевич (Author) ; Зарвин, Александр Евгеньевич (Author) ; Каляда, Валерий Владимирович (Author) et al. / Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 10. Dec 26, 2012.

BibTeX

@misc{bbd6c9d1906740fc875617493b677a2f,
title = "Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей",
author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Шмаков, {Алексей Александрович}",
year = "2012",
month = dec,
day = "26",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "10",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Шмаков, Алексей Александрович

PY - 2012/12/26

Y1 - 2012/12/26

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 10

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 26713937