Search
Frontpage
Projects
Equipment
Prizes
Staff
Research output
Research units
Activities
Press/Media
About
Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей
Research output
:
Patent
›
Know-how registration
Applied Physics Division
Overview
Cite this
Николай Геннадьевич Коробейщиков
(Author)
Александр Евгеньевич Зарвин
(Author)
Валерий Владимирович Каляда
(Author)
Алексей Александрович Шмаков
(Author)
Original language
Russian
Patent number
10
Priority date
12.11.2012
Publication status
Published -
26 Dec 2012
ID: 26713937