Standard

Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. / Ездин, Борис Семенович (Author); Зарвин, Александр Евгеньевич (Author); Каляда, Валерий Владимирович (Author).

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 29. Nov 14, 2018.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Ездин, БС, Зарвин, АЕ & Каляда, ВВ Nov. 14 2018, Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия, Patent No. 29.

APA

Ездин, Б. С., Зарвин, А. Е., & Каляда, В. В. (2018). Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. (Patent No. 29). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Ездин БС, Зарвин АЕ, Каляда ВВ, inventors. Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. 29. 2018 Nov 14.

Author

Ездин, Борис Семенович (Author) ; Зарвин, Александр Евгеньевич (Author) ; Каляда, Валерий Владимирович (Author). / Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 29. Nov 14, 2018.

BibTeX

@misc{a424e7473fb04c1bad2fbc3ab1b90780,
title = "Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия",
abstract = "Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.",
keywords = "НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ",
author = "Ездин, {Борис Семенович} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович}",
year = "2018",
month = nov,
day = "14",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "29",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

AU - Ездин, Борис Семенович

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

PY - 2018/11/14

Y1 - 2018/11/14

N2 - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

AB - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

KW - НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ

KW - УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 29

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 23260905