Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау
Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. / Ездин, Борис Семенович (автор); Зарвин, Александр Евгеньевич (автор); Каляда, Валерий Владимирович (автор).
Новосибирский государственный университет. Номер патента: 29. нояб. 14, 2018.Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау
}
TY - PAT
T1 - Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия
AU - Ездин, Борис Семенович
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
PY - 2018/11/14
Y1 - 2018/11/14
N2 - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.
AB - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.
KW - НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
KW - УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ
M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау
M1 - 29
PB - Новосибирский государственный университет
ER -
ID: 23260905