Standard

МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич.

2025. 15 Abstract from 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ & Коробейщиков, НГ 2025, 'МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием', 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation, 27.05.2025 - 29.05.2025 pp. 15. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

APA

Николаев, И. В., & Коробейщиков, Н. Г. (2025). МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием. 15. Abstract from 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ. МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием. 2025. Abstract from 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation. doi: 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич. / МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием. Abstract from 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation.1 p.

BibTeX

@conference{277221cc3b6549c8bf78c9ac5d50cbdd,
title = "МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием",
abstract = "Воздействие отдельного кластерного иона представляетфундаментальный интерес для понимания механизмов и процессов сглаживания, травления, распыления, образования кратеров и наноструктур [1, 2]. Воздействие кластерного иона на мишень существенно отличается от воздействия мономерного иона из-за высокой плотности энергии привзаимодействии кластера с твердым телом [3, 4].B данной работе моделированием молекулярной динамики (МД) получены результаты воздействия кластерных ионов аргона на поверхности монокристаллических кремния и германия. Средний размер кластеров составляет 923 атомов кластер. Угол падения кластеров варьировался от 0° до75°. Определены особенности формирования ударных кратеров и аморфного слоя при разных углах падения кластеров. Оценены коэффициенты распыления Мишени.",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич}",
note = "И.В. Николаев, Н.Г. Коробейщиков. МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием // Тезисы докладов 54-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / под ред. проф. Н. Г. Чеченина. – М.: «КДУ», 2025. – 200 с. С. 15. DOI: 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200. ISBN 978-5-00247-141-6. Исследование выполнено за счет гранта РНФ №23-79-10061 (https://rscf.ru/project/23-79-10061) с использованием оборудования ЦКП {"}Прикладная физика{"} НГУ.; 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, МТК ; Conference date: 27-05-2025 Through 29-05-2025",
year = "2025",
month = may,
doi = "10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200",
language = "русский",
pages = "15",
url = "http://tulinov.sinp.msu.ru/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - МД моделирование взаимодействия кластерных ионов аргона с монокристаллическим кремнием и германием

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

N1 - Conference code: 54

PY - 2025/5

Y1 - 2025/5

N2 - Воздействие отдельного кластерного иона представляетфундаментальный интерес для понимания механизмов и процессов сглаживания, травления, распыления, образования кратеров и наноструктур [1, 2]. Воздействие кластерного иона на мишень существенно отличается от воздействия мономерного иона из-за высокой плотности энергии привзаимодействии кластера с твердым телом [3, 4].B данной работе моделированием молекулярной динамики (МД) получены результаты воздействия кластерных ионов аргона на поверхности монокристаллических кремния и германия. Средний размер кластеров составляет 923 атомов кластер. Угол падения кластеров варьировался от 0° до75°. Определены особенности формирования ударных кратеров и аморфного слоя при разных углах падения кластеров. Оценены коэффициенты распыления Мишени.

AB - Воздействие отдельного кластерного иона представляетфундаментальный интерес для понимания механизмов и процессов сглаживания, травления, распыления, образования кратеров и наноструктур [1, 2]. Воздействие кластерного иона на мишень существенно отличается от воздействия мономерного иона из-за высокой плотности энергии привзаимодействии кластера с твердым телом [3, 4].B данной работе моделированием молекулярной динамики (МД) получены результаты воздействия кластерных ионов аргона на поверхности монокристаллических кремния и германия. Средний размер кластеров составляет 923 атомов кластер. Угол падения кластеров варьировался от 0° до75°. Определены особенности формирования ударных кратеров и аморфного слоя при разных углах падения кластеров. Оценены коэффициенты распыления Мишени.

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/7063e907-3e82-3887-9518-13434b946b1a/

U2 - 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

DO - 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

M3 - тезисы

SP - 15

T2 - 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Y2 - 27 May 2025 through 29 May 2025

ER -

ID: 72833783