Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел. / Федюхин, Леонид Анатольевич; Горчаков, Александр Всеволодович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич et al.
In: Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, Vol. 114, No. 5-6(9), 3, 09.2021, p. 304-310.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел
AU - Федюхин, Леонид Анатольевич
AU - Горчаков, Александр Всеволодович
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Николаев, Иван Владимирович
N1 - Федюхин Л.А., Горчаков А.В., Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В. Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. – 2021. – Т. 114. – № 5-6 (9). – С. 304-310. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований и Новосибирской области, грант # 20-42-540004 (проведение измерений) и Российского научного фонда, грант # 21-19-00046 (подготовка образцов).
PY - 2021/9
Y1 - 2021/9
N2 - Предложен метод измерения и алгоритм расчета показателя преломления оптических материалов, основанный на модели трехслойной структуры. Проведена экспериментальная апробация метода с использованием оптических мер. Численно показана единственность восстановления показателей преломления подложки, приповерхностного слоя, а также толщины слоя по измерению коэффициента отражения зондирующего излучения в области угла Брюстера и угла нормального падения. Впервые измерены показатель преломления приповерхностного слоя с абсолютной погрешностью измерения ±10 и толщина приповерхностного слоя с доверительной погрешностью ±1 нм.
AB - Предложен метод измерения и алгоритм расчета показателя преломления оптических материалов, основанный на модели трехслойной структуры. Проведена экспериментальная апробация метода с использованием оптических мер. Численно показана единственность восстановления показателей преломления подложки, приповерхностного слоя, а также толщины слоя по измерению коэффициента отражения зондирующего излучения в области угла Брюстера и угла нормального падения. Впервые измерены показатель преломления приповерхностного слоя с абсолютной погрешностью измерения ±10 и толщина приповерхностного слоя с доверительной погрешностью ±1 нм.
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=46531318
UR - https://www.mendeley.com/catalogue/a505ed4c-186d-3d13-a280-11a276991933/
U2 - 10.31857/S1234567821170031
DO - 10.31857/S1234567821170031
M3 - статья
VL - 114
SP - 304
EP - 310
JO - Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
JF - Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
SN - 0370-274X
IS - 5-6(9)
M1 - 3
ER -
ID: 34970624