Standard

Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел : «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2). / Шмаков, Алексей Александрович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Каляда, Валерий Владимирович et al.

2015. 174-176.

Research output: Contribution to conference › Paper › peer-review

Harvard

Шмаков, АА, Коробейщиков, НГ, Каляда, ВВ, Пеньков, ОИ & Зарвин, АЕ 2015, 'Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).', pp. 174-176.

APA

Шмаков, А. А., Коробейщиков, Н. Г., Каляда, В. В., Пеньков, О. И., & Зарвин, А. Е. (2015). Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).. 174-176.

Vancouver

Шмаков АА, Коробейщиков НГ, Каляда ВВ, Пеньков ОИ, Зарвин АЕ. Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).. 2015.

Author

Шмаков, Алексей Александрович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Каляда, Валерий Владимирович et al. / Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел : «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2). 3 p.

BibTeX

@conference{f23edee26e0b4e80b044b5b27df2f96e,
title = "Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).",
author = "Шмаков, {Алексей Александрович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Пеньков, {Олег Игоревич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич}",
year = "2015",
language = "русский",
pages = "174--176",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел

T2 - «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).

AU - Шмаков, Алексей Александрович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Пеньков, Олег Игоревич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

PY - 2015

Y1 - 2015

M3 - материалы

SP - 174

EP - 176

ER -

ID: 27273586