Результаты исследований: Материалы конференций › материалы › Рецензирование
Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел : «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2). / Шмаков, Алексей Александрович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Каляда, Валерий Владимирович и др.
2015. 174-176.Результаты исследований: Материалы конференций › материалы › Рецензирование
}
TY - CONF
T1 - Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел
T2 - «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).
AU - Шмаков, Алексей Александрович
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Пеньков, Олег Игоревич
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
PY - 2015
Y1 - 2015
M3 - материалы
SP - 174
EP - 176
ER -
ID: 27273586