Standard

Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович et al.

Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». ed. / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. p. 166-169.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Коробейщиков, НГ, Зарвин, АЕ, Каляда, ВВ & Шмаков, АА 2012, Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. in ДВ Быков (ed.), Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». МИЭМ НИУ ВШЭ, Москва, pp. 166-169.

APA

Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., & Шмаков, А. А. (2012). Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. In Д. В. Быков (Ed.), Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника» (pp. 166-169). МИЭМ НИУ ВШЭ.

Vancouver

Коробейщиков НГ, Зарвин АЕ, Каляда ВВ, Шмаков АА. Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. In Быков ДВ, editor, Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Москва: МИЭМ НИУ ВШЭ. 2012. p. 166-169

Author

Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Зарвин, Александр Евгеньевич ; Каляда, Валерий Владимирович et al. / Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». editor / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. pp. 166-169

BibTeX

@inproceedings{292190eac5fd4817bd23a99e503ee8fc,
title = "Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности",
author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Шмаков, {Алексей Александрович}",
year = "2012",
language = "русский",
isbn = "978-5-94506-334-1",
pages = "166--169",
editor = "Быков, {Д. В.}",
booktitle = "Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»",
publisher = "МИЭМ НИУ ВШЭ",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Шмаков, Алексей Александрович

PY - 2012

Y1 - 2012

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-94506-334-1

SP - 166

EP - 169

BT - Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»

A2 - Быков, Д. В.

PB - МИЭМ НИУ ВШЭ

CY - Москва

ER -

ID: 27287280