Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович и др.
Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». ред. / Д. В. Быков. Москва : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. стр. 166-169.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
}
TY - GEN
T1 - Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Шмаков, Алексей Александрович
PY - 2012
Y1 - 2012
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-94506-334-1
SP - 166
EP - 169
BT - Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»
A2 - Быков, Д. В.
PB - МИЭМ НИУ ВШЭ
CY - Москва
ER -
ID: 27287280