TY - CONF

T1 - Наноструктурирование поверхности германия кластерами аргона

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Яковлева, Марина Владимировна

N1 - Conference code: 54

PY - 2025/5

Y1 - 2025/5

N2 - Самоорганизованное наноструктурирование поверхности различных материалов с использованием пучков ионов благородных газов является объектом подробных исследований в последние десятилетия. Выявлены основные физические процессы формирования наноструктур в различных условиях, предложены теоретические модели для описания наблюдаемыхявлений [1]. Газоструйные ионно-кластерные пучки обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с традиционными атомарными пучками. Однако, формирование наноструктур такими пучками исследовано явно недостаточно [2].В докладе приведены результаты по обработке поверхностимонокристаллического Ge [100] пучком кластерных ионов аргона со средним размером 1000 атомов/кластер при наклонном угле падения на мишень 60°. Для диагностики сформированных наноструктур использовались атомно-силоваямикроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния. Выявлены особенности геометрических параметров (амплитуда и длина волны) [3] и внутренней структуры на различных этапах формирования наноструктур.

AB - Самоорганизованное наноструктурирование поверхности различных материалов с использованием пучков ионов благородных газов является объектом подробных исследований в последние десятилетия. Выявлены основные физические процессы формирования наноструктур в различных условиях, предложены теоретические модели для описания наблюдаемыхявлений [1]. Газоструйные ионно-кластерные пучки обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с традиционными атомарными пучками. Однако, формирование наноструктур такими пучками исследовано явно недостаточно [2].В докладе приведены результаты по обработке поверхностимонокристаллического Ge [100] пучком кластерных ионов аргона со средним размером 1000 атомов/кластер при наклонном угле падения на мишень 60°. Для диагностики сформированных наноструктур использовались атомно-силоваямикроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния. Выявлены особенности геометрических параметров (амплитуда и длина волны) [3] и внутренней структуры на различных этапах формирования наноструктур.

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/7063e907-3e82-3887-9518-13434b946b1a/

U2 - 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

DO - 10.31453/kdu.ru.978-5-00247-141-6-2025-200

M3 - тезисы

SP - 16

T2 - 54-я международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Y2 - 27 May 2025 through 29 May 2025

ER -