1. Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона

    Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А. & Николаев, И. В., 2017, Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Казань: Издательство "Отечество", p. 250 1 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  2. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 Jan 2021, In: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, p. 44-47 4 p.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  3. Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Лапега, А. В., Топаков, Д. В., Чесноков, Д. В. & Усубалиев, Н. А., 26 Mar 2024, p. 275. 1 p.

    Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

  4. Селекция кластеров при рассеянии на фоновом газе

    Деринг, Е. Д., Дубровин, К. А., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В. & Яскин, А. С., 27 Jun 2022, p. 76-78. 3 p.

    Research output: Contribution to conferencePaperpeer-review

  5. "СибНаноТех"

    Зарвин, А. Е., Перепечко, Л. Н. & Шарина, И. А., 12 Sept 2011, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2011620650, Priority date 12 Jul 2011, Priority No. 2011620509

    Research output: PatentDatabase registration

ID: 3082762