Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Название основной публикации | Surface smoothing of polycrystalline AlN thin films by argon cluster ions |
| Подзаголовок основной публикации | 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2020): Abstracts. |
| Место публикации | Томск |
| Страницы | 256 |
| Число страниц | 1 |
| Состояние | Опубликовано - 2020 |
| Событие | 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects - Virtual, Tomsk, Российская Федерация Продолжительность: 14 сент. 2020 → 26 сент. 2020 |
| Конференция | 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects |
|---|---|
| Сокращенное название | EFRE 2020 |
| Страна/Tерритория | Российская Федерация |
| Город | Virtual, Tomsk |
| Период | 14.09.2020 → 26.09.2020 |
ID: 27173325