Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Название основной публикации | Surface smoothing of polycrystalline AlN thin films by argon cluster ions |
| Подзаголовок основной публикации | 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2020): Abstracts. |
| Место публикации | Томск |
| Страницы | 256 |
| Число страниц | 1 |
| Состояние | Опубликовано - 2020 |
ID: 27173325