DOI

  • V. N. Kruchinin
  • T. V. Perevalov
  • V. V. Atuchin
  • V. A. Gritsenko
  • A. I. Komonov
  • I. V. Korolkov
  • L. D. Pokrovsky
  • Cheng Wei Shih
  • Albert Chin
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)6089-6095
Число страниц7
ЖурналJournal of Electronic Materials
Том46
Номер выпуска10
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 окт. 2017

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 9078860