DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110929
ЖурналVacuum
Том199
DOI
СостояниеОпубликовано - мая 2022

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 35550179