Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator › Обзор исследований

Исследовательский портал НГУ

Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Лаборатория наносверхпроводимости ФФ

DOI

https://doi.org/10.1016/j.sse.2019.107734
Конечная издательская версия

V. P. Popov
V. A. Antonov
A. K. Gutakovskiy
I. E. Tyschenko
V. I. Vdovin
A. V. Miakonkikh
K. V. Rudenko

Язык оригинала	английский
Номер статьи	107734
Число страниц	7
Журнал	Solid-State Electronics
Том	168
DOI	https://doi.org/10.1016/j.sse.2019.107734
Состояние	Опубликовано - июн. 2020

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 23093130