Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Название основной публикации | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII |
| Редакторы | B Neuenschwander, CP Grigoropoulos, T Makimura, G Raciukaitis |
| Издатель | The International Society for Optical Engineering |
| Страницы | 100910L |
| Число страниц | 6 |
| Том | 10091 |
| ISBN (электронное издание) | 9781510606234 |
| ISBN (печатное издание) | 978-1-5106-0623-4 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 янв. 2017 |
| Событие | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII 2017 - San Francisco, Соединенные Штаты Америки Продолжительность: 30 янв. 2017 → 2 февр. 2017 Номер конференции: 22 |
| Название | Proceedings of SPIE |
|---|---|
| Издатель | SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING |
| Том | 10091 |
| ISSN (печатное издание) | 0277-786X |
| Конференция | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII 2017 |
|---|---|
| Сокращенное название | LAMOM |
| Страна/Tерритория | Соединенные Штаты Америки |
| Город | San Francisco |
| Период | 30.01.2017 → 02.02.2017 |
ID: 10187695