DOI

  • Alexandr V. Dostovalov
  • Alexey A. Wolf
  • Ekaterina A. Zlobina
  • Sergey I. Kablukov
  • Sergey A. Babin
Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииLaser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII
РедакторыB Neuenschwander, CP Grigoropoulos, T Makimura, G Raciukaitis
ИздательSPIE
Число страниц6
Том10091
ISBN (электронное издание)9781510606234
ISBN (печатное издание)978-1-5106-0623-4
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв. 2017
СобытиеLaser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII 2017 - San Francisco, Соединенные Штаты Америки
Продолжительность: 30 янв. 2017 → 2 февр. 2017

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE
ИздательSPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Том10091
ISSN (печатное издание)0277-786X

Конференция

КонференцияLaser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII 2017
Страна/TерриторияСоединенные Штаты Америки
ГородSan Francisco
Период30.01.2017 → 02.02.2017

ID: 10187695