DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012060
Число страниц5
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том1313
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 12 сент. 2019
Событие26th International Conference on Vacuum Technique and Technology - СПбГЭТУ "ЛЭТИ", Saint Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 18 июн. 201920 июн. 2019
Номер конференции: 26

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 21927860