DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110462
ЖурналVacuum
Том192
DOI
СостояниеОпубликовано - окт. 2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 29130062