Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 075004 |
| Число страниц | 6 |
| Журнал | Semiconductor Science and Technology |
| Том | 35 |
| Номер выпуска | 7 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 28 мая 2020 |
ID: 24538134