Effect of the Sapphire-Nitridation Level and Nucleation-Layer Enrichment with Aluminum on the Structural Properties of AlN Layers › Обзор исследований

Исследовательский портал НГУ

Effect of the Sapphire-Nitridation Level and Nucleation-Layer Enrichment with Aluminum on the Structural Properties of AlN Layers

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Физический факультет

DOI

https://doi.org/10.1134/S1063782618060143
Конечная издательская версия

T. V. Malin
D. S. Milakhin
V. G. Mansurov
Yu G. Galitsyn
A. S. Kozhuhov
V. V. Ratnikov
A. N. Smirnov
V. Yu Davydov
K. S. Zhuravlev

Язык оригинала	английский
Страницы (с-по)	789-796
Число страниц	8
Журнал	Semiconductors
Том	52
Номер выпуска	6
DOI	https://doi.org/10.1134/S1063782618060143
Состояние	Опубликовано - 1 июн. 2018

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 13488171