DOI

Переведенное названиеОсаждение оксидных наноструктур наносекундной лазерной абляцией кремния в кислородсодержащем фоновом газе
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи8
Страницы (с-по)549-554
Число страниц6
ЖурналThermophysics and Aeromechanics
Том28
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - июл. 2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.03 МЕХАНИКА И МАШИНОСТРОЕНИЕ
  • 2.03.DT ТЕРМОДИНАМИКА

    ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

ID: 35240676