Comparative study of electron-beam crystallization of amorphous hafnium oxides HfO2 and HfO x (x = 1.82) › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1007/s42452-020-3102-8
Конечная издательская версия

A. K. Gerasimova
V. Sh Aliev
G. K. Krivyakin
V. A. Voronkovskii

Язык оригинала	английский
Номер статьи	1273
Число страниц	7
Журнал	SN Applied Sciences
Том	2
Номер выпуска	7
DOI	https://doi.org/10.1007/s42452-020-3102-8
Состояние	Опубликовано - июл. 2020

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 27879972