Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский | 
|---|---|
| Страницы (с-по) | 372-377 | 
| Число страниц | 6 | 
| Журнал | Russian Microelectronics | 
| Том | 49 | 
| Номер выпуска | 5 | 
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 сент. 2020 | 
ID: 25687260