DOI

  • O. V. Naumova
  • V. M. Generalov
  • E. G. Zaitseva
  • A. V. Latyshev
  • A. L. Aseev
  • S. A. Pyankov
  • I. V. Kolosova
  • G. G. Ananko
  • A. P. Agafonov
  • E. V. Gavrilova
  • R. A. Maksyutov
  • A. S. Safatov
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)137-145
Число страниц9
ЖурналRussian Microelectronics
Том50
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - мая 2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.02 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА, ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

    ГРНТИ

  • 34.25 Вирусология

ID: 34108730