TY - CHAP

T1 - Глава 14. Функциональные устройства на основе наночастиц и структура субволнового размера

AU - Володин, Владимир Алексеевич

AU - Ездин, Борис Семенович

AU - Кузнецов, Сергей Александрович

AU - Шкляев, Александр Андреевич

N1 - Глава 14. Функциональные устройства на основе наночастиц и структур субволнового размера / В.А. Володин, Б.С. Ездин, С.А. Кузнецов, А.А. Шкляев // Квантовые структуры для посткремниевой электроники / Под редакцией А.В. Латышева . – Новосибирск : Издательство Параллель, 2023. – С. 192-207. Тираж 500 экз. + эл. версия.

PY - 2023

Y1 - 2023

N2 - Использование массивов наночастиц и структур субволнового размера обеспечивает улучшение характеристик и уменьшение размеров элементов различных функциональных устройств. Для их изготовления разрабатываются технологии на основе электронной литографии в сочетании с методом lift-o , твёрдотельной несмачиваемости, структурных превращений под действием импульсного лазерного облучения, синтеза наночастиц в адиабатическом процессе сжатия газовой смеси, а также традиционных методов оптической литографии и травления. Установлено, что покрытия из диэлектрических частиц по форме, близкой к полусферической и формируемых с использованием явления несмачиваемости, обладают широкополосными антиотражающими свойствами. Проведён цикл исследований по экспериментальной разработке высокоэффективных поляризаторов и преобразователей поляризации (фазовых пластинок) для ТГц области спектра с использованием плазмонных метаповерхностей. Установлено, что метастабильные плёнки GeSiOx претерпевают структурные изменения с образованием нанокластеров германия под действием облучения электронами, превращая их в оптически активные структуры в ближнем ИК диапазоне. Показано, что порошки углерода и кремния, синтезированные методом сжатия, не уступают по свойствам порошкам, полученным с помощью других технологий, а сам метод обладает определёнными преимуществами.

AB - Использование массивов наночастиц и структур субволнового размера обеспечивает улучшение характеристик и уменьшение размеров элементов различных функциональных устройств. Для их изготовления разрабатываются технологии на основе электронной литографии в сочетании с методом lift-o , твёрдотельной несмачиваемости, структурных превращений под действием импульсного лазерного облучения, синтеза наночастиц в адиабатическом процессе сжатия газовой смеси, а также традиционных методов оптической литографии и травления. Установлено, что покрытия из диэлектрических частиц по форме, близкой к полусферической и формируемых с использованием явления несмачиваемости, обладают широкополосными антиотражающими свойствами. Проведён цикл исследований по экспериментальной разработке высокоэффективных поляризаторов и преобразователей поляризации (фазовых пластинок) для ТГц области спектра с использованием плазмонных метаповерхностей. Установлено, что метастабильные плёнки GeSiOx претерпевают структурные изменения с образованием нанокластеров германия под действием облучения электронами, превращая их в оптически активные структуры в ближнем ИК диапазоне. Показано, что порошки углерода и кремния, синтезированные методом сжатия, не уступают по свойствам порошкам, полученным с помощью других технологий, а сам метод обладает определёнными преимуществами.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=54613437&pff=1

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/da147400-3a77-3e46-ab40-3647b9e5cba6/

U2 - 10.34077/ISP.2023-kvant-14

DO - 10.34077/ISP.2023-kvant-14

M3 - глава/раздел

SN - 978-5-98901-273-2

SP - 192

EP - 207

BT - Квантовые структуры для посткремниевой электроники

A2 - Латышев, А.В.

PB - Параллель

CY - Новосибирск

ER -