Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

Standard

Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона. / Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Роенко, Максим Анатольевич и др.

в: Письма в Журнал технической физики, Том 47, № 6, 12.01.2021, стр. 44-47.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{98dd96b7aeac4dbdb881632f45d03736,

title = "Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона",

abstract = "Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν = 0.02 − 128 µm^−1) при ультрамалой глубине травления (< 100 nm). ",

author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Роенко, {Максим Анатольевич} and Гейдт, {Павел Викторович} and Струнин, {Владимир Иванович}",

note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А., Гейдт П.В., Струнин В.И. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2021. - Т. 47. - № 6. - С. 44-47",

year = "2021",

month = jan,

day = "12",

doi = "10.21883/PJTF.2021.06.50759.18536",

language = "русский",

volume = "47",

pages = "44--47",

journal = "Письма в Журнал технической физики",

issn = "0320-0116",

publisher = "Общество с ограниченной ответственностью Международная академическая издательская компания {"}Наука/Интерпериодика{"}",

number = "6",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Роенко, Максим Анатольевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Струнин, Владимир Иванович

N1 - Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А., Гейдт П.В., Струнин В.И. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2021. - Т. 47. - № 6. - С. 44-47

PY - 2021/1/12

Y1 - 2021/1/12

N2 - Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν = 0.02 − 128 µm^−1) при ультрамалой глубине травления (< 100 nm).

AB - Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν = 0.02 − 128 µm^−1) при ультрамалой глубине травления (< 100 nm).

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/483f01f1-1453-3972-8f77-6d1c15d445e0/

U2 - 10.21883/PJTF.2021.06.50759.18536

DO - 10.21883/PJTF.2021.06.50759.18536

M3 - статья

VL - 47

SP - 44

EP - 47

JO - Письма в Журнал технической физики

JF - Письма в Журнал технической физики

SN - 0320-0116

IS - 6

ER -

ID: 27343217