DOI

  • И.Е. ТЫСЧЕНКО
  • Ч. СЫ
  • С.Г. ЧЕРКОВА
  • В.П. ПОПОВ
Переведенное названиеVISIBLE PHOTOLUMINESCENCE OF IN+- AND AS+-ION IMPLANTED SIO2 FILMS
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)59-65
Число страниц7
ЖурналАвтометрия
Том60
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 2024

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.11 ПРОЧИЕ ТЕХНОЛОГИИ

    Области исследований

  • Ионная имплантация, SIO2, INAS, Нанокристаллы, фотолюминесценция

ID: 71985988