Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Определение энергии активации реакции диспропорционирования аморфной пленки GeOx на кварцевой подложке с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света. / Чжан, Фань ; Vergnat, M.; Володин, Владимир Алексеевич.
в: Журнал технической физики, № 8, 17, 2023, стр. 1209-1215.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Определение энергии активации реакции диспропорционирования аморфной пленки GeOx на кварцевой подложке с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света
AU - Чжан, Фань
AU - Vergnat, M.
AU - Володин, Владимир Алексеевич
N1 - Чжан Ф., Вергнат М., Володин В.А. Определение энергии активации реакции диспропорционирования аморфной пленки GeOx на кварцевой подложке с использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света // Журнал технической физики. - 2023. - № 8. - С. 1209-1215. Работа выполнена в рамках государственного задания Министерства науки и высшего образования Российской Федерации (тема № FWGW-2022-0011 Физические явления в квантовых структурах для компонент наноэлектроники, нанофотоники и спинтроники).
PY - 2023
Y1 - 2023
N2 - Аморфные нанокластеры германия были сформированы в пленке GeOx на кварце в результате реакции диспропорционирования GeO_x->l(1-(x)/(2)r)Ge+(x)/(2) GeO2 при печных отжигах. Для определения энергии активации реакции отжиги были проведены при температурах от 400 до 500oC. Возникновение и рост аморфных нанокластеров германия исследованы методом спектроскопии комбинационного рассеяния света. Показано, что модель локализации фононов применима не только для нанокристаллов германия, но и для аморфных кластеров германия в случае их сверхмалых размеров. Обнаружено, что время насыщения формирования нанокластеров аморфного германия экспоненциально зависит от температуры отжигов. Анализ кинетики формирования нанокластеров проведен в рамках модели Колмогорова-Аврами. Впервые была получена энергия активации реакции диспропорционирования, которая составила 1.0±0.1 eV. Ключевые слова: оксид германия, реакция диспропорционирования, модель Колмогорова-Аврами, энергия активации.
AB - Аморфные нанокластеры германия были сформированы в пленке GeOx на кварце в результате реакции диспропорционирования GeO_x->l(1-(x)/(2)r)Ge+(x)/(2) GeO2 при печных отжигах. Для определения энергии активации реакции отжиги были проведены при температурах от 400 до 500oC. Возникновение и рост аморфных нанокластеров германия исследованы методом спектроскопии комбинационного рассеяния света. Показано, что модель локализации фононов применима не только для нанокристаллов германия, но и для аморфных кластеров германия в случае их сверхмалых размеров. Обнаружено, что время насыщения формирования нанокластеров аморфного германия экспоненциально зависит от температуры отжигов. Анализ кинетики формирования нанокластеров проведен в рамках модели Колмогорова-Аврами. Впервые была получена энергия активации реакции диспропорционирования, которая составила 1.0±0.1 eV. Ключевые слова: оксид германия, реакция диспропорционирования, модель Колмогорова-Аврами, энергия активации.
UR - https://www.mendeley.com/catalogue/eed16ac3-cafb-3bbd-9c6c-b0caf3003cd2/
U2 - 10.21883/JTF.2023.08.55985.74-23
DO - 10.21883/JTF.2023.08.55985.74-23
M3 - статья
SP - 1209
EP - 1215
JO - Журнал технической физики
JF - Журнал технической физики
SN - 0044-4642
IS - 8
M1 - 17
ER -
ID: 55446506