Standard

Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида. / Богословцева, Алена Леонидовна.

2023. 184.

Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Harvard

Богословцева, АЛ 2023, 'Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида', стр. 184. https://doi.org/10.25205/978-5-4437-1442-4

APA

Богословцева, А. Л. (2023). Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида. 184. https://doi.org/10.25205/978-5-4437-1442-4

Vancouver

Богословцева АЛ. Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида. 2023. doi: 10.25205/978-5-4437-1442-4

Author

Богословцева, Алена Леонидовна. / Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида. 1 стр.

BibTeX

@conference{cebf1859a5b44a4b8aa7dbaf08d0e6ba,
title = "Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида",
abstract = "В представленной работе пленки нитрида алюминия осаждались из алюминиевой мишени на подложки Si (111) методом импульсного реактивного магнетронного распыления в асимметричном биполярном импульсном режиме постоянного тока. В качестве распыляющего газа использовался аргон, реактивного – азот. Осаждение пленок AlN проводилось в двух режимах – с внесением в систему локальной реакционной камерой и без нее. Сравнение воспроизводимости этих двух типов процессов и характеристик полученных пленок приводит к выводу, что присутствие реакционной камеры в текущей геометрии ведет к увеличению содержания кислорода в пленках нитрида алюминия, снижению скорости роста и ухудшению повторяемости структуры. В связи с этим, более детальный анализ, дающий информацию о строении внутренней структуры пленок нитрида алюминия, выполнялся только для образцов, полученных без использования реакционной камеры.",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2023",
doi = "10.25205/978-5-4437-1442-4",
language = "русский",
pages = "184",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2023

Y1 - 2023

N2 - В представленной работе пленки нитрида алюминия осаждались из алюминиевой мишени на подложки Si (111) методом импульсного реактивного магнетронного распыления в асимметричном биполярном импульсном режиме постоянного тока. В качестве распыляющего газа использовался аргон, реактивного – азот. Осаждение пленок AlN проводилось в двух режимах – с внесением в систему локальной реакционной камерой и без нее. Сравнение воспроизводимости этих двух типов процессов и характеристик полученных пленок приводит к выводу, что присутствие реакционной камеры в текущей геометрии ведет к увеличению содержания кислорода в пленках нитрида алюминия, снижению скорости роста и ухудшению повторяемости структуры. В связи с этим, более детальный анализ, дающий информацию о строении внутренней структуры пленок нитрида алюминия, выполнялся только для образцов, полученных без использования реакционной камеры.

AB - В представленной работе пленки нитрида алюминия осаждались из алюминиевой мишени на подложки Si (111) методом импульсного реактивного магнетронного распыления в асимметричном биполярном импульсном режиме постоянного тока. В качестве распыляющего газа использовался аргон, реактивного – азот. Осаждение пленок AlN проводилось в двух режимах – с внесением в систему локальной реакционной камерой и без нее. Сравнение воспроизводимости этих двух типов процессов и характеристик полученных пленок приводит к выводу, что присутствие реакционной камеры в текущей геометрии ведет к увеличению содержания кислорода в пленках нитрида алюминия, снижению скорости роста и ухудшению повторяемости структуры. В связи с этим, более детальный анализ, дающий информацию о строении внутренней структуры пленок нитрида алюминия, выполнялся только для образцов, полученных без использования реакционной камеры.

U2 - 10.25205/978-5-4437-1442-4

DO - 10.25205/978-5-4437-1442-4

M3 - тезисы

SP - 184

ER -

ID: 59373320