DOI

Язык оригиналарусский
Номер статьи6
Страницы (с-по)52-58
Число страниц7
ЖурналПрикладная механика и техническая физика
Том64
Номер выпуска5 (381)
DOI
СостояниеОпубликовано - 2023

    Области исследований

  • нанокристаллический кремний, электронно-пучковый отжиг, нестехиометрический оксид кремния, плотность тока электронного пучка

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ
  • 2.03 МЕХАНИКА И МАШИНОСТРОЕНИЕ

ID: 59584463