Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Название основной публикации | Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе. Иркутск, 2024 |
| Страницы | 73 |
| Состояние | Опубликовано - 2024 |
ID: 61297256