Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе. Иркутск, 2024 |
| Pages | 73 |
| Publication status | Published - 2024 |
ID: 61297256