Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Конечная издательская версия
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Номер статьи | 6 |
| Страницы (с-по) | 28-31 |
| Число страниц | 4 |
| Журнал | Вакуумная техника и технология |
| Том | 29 |
| Номер выпуска | 3 |
| Состояние | Опубликовано - 2019 |
ID: 27446998