Ссылки

Язык оригиналарусский
Номер статьи6
Страницы (с-по)28-31
Число страниц4
ЖурналВакуумная техника и технология
Том29
Номер выпуска3
СостояниеОпубликовано - 2019

    ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 27446998