• Евгений Николаевич Галашов (автор)
Язык оригиналарусский
Номер патента85
Дата приоритета27.10.2023
СостояниеОпубликовано - 27 окт. 2023

    Области исследований

  • ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, КОНТРОЛЛИРУЕМАЯ АТМОСФЕРА, СИНТЕЗ НАНОМАТЕРИАЛОВ, РОСТ КРИСТАЛЛОВ

    ГРНТИ

  • 47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники

ID: 59501574