МД-моделирование распыления монокристаллического кремния и германия кластерами аргона

Standard

МД-моделирование распыления монокристаллического кремния и германия кластерами аргона. / Николаев, Иван Владимирович ; Стишенко, Павел Викторович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич.

в: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 5, 05.2026, стр. 24-28.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{d4e6136a16684d7c92d9cf101ffd5ea7,

title = "МД-моделирование распыления монокристаллического кремния и германия кластерами аргона",

abstract = "Исследовано распыление однокомпонентных полупроводников, кремния и германия, кластерами аргона с помощью моделирования методом молекулярной динамики. Использованы кластеры аргона размером 923 атома и с кинетической энергией 10 кэВ. Угол падения кластеров варьировался в широком диапазоне от 0° до 75° относительно нормали к поверхности мишени. Приведены значения усредненных коэффициентов распыления и усредненных удельных энергий распыленных атомов кремния и германия для различных углов падения кластеров. Проведено сравнение угловых распределений коэффициента распыления и энергии распыленных атомов для разных мишеней. Показано, что при варьировании угла падения кластеров коэффициент распыления и удельная энергия распыленных атомов мишеней изменяются нелинейно, немонотонно и имеют выраженный максимум. Определено, что максимальный коэффициент распыления для германия равен 25 атом/кластер, а для кремния — 20 атом/кластер. Установлено, что для одной и той же мишени максимальный коэффициент распыления и максимальная энергия распыленных атомов мишени наблюдаются при разных углах падения кластеров. Определено, что средняя удельная энергия распыленных атомов мишени для германия изменяется от 2 до 8.5 эВ/атом, а для кремния — от 1.3 до 5 эВ/атом в зависимости от угла падения кластеров.",

keywords = "МД-моделирование, полупроводники, кремний, германий, газовый кластер, коэффициент распыления, энергия распыленных атомов, энергия когезии",

author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Стишенко, {Павел Викторович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич}",

year = "2026",

month = may,

doi = "10.7868/S3034573126050046",

language = "русский",

pages = "24--28",

journal = "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования",

issn = "1028-0960",

publisher = "ФГБУ {"}Издательство {"}Наука{"}",

number = "5",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - МД-моделирование распыления монокристаллического кремния и германия кластерами аргона

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Стишенко, Павел Викторович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

PY - 2026/5

Y1 - 2026/5

N2 - Исследовано распыление однокомпонентных полупроводников, кремния и германия, кластерами аргона с помощью моделирования методом молекулярной динамики. Использованы кластеры аргона размером 923 атома и с кинетической энергией 10 кэВ. Угол падения кластеров варьировался в широком диапазоне от 0° до 75° относительно нормали к поверхности мишени. Приведены значения усредненных коэффициентов распыления и усредненных удельных энергий распыленных атомов кремния и германия для различных углов падения кластеров. Проведено сравнение угловых распределений коэффициента распыления и энергии распыленных атомов для разных мишеней. Показано, что при варьировании угла падения кластеров коэффициент распыления и удельная энергия распыленных атомов мишеней изменяются нелинейно, немонотонно и имеют выраженный максимум. Определено, что максимальный коэффициент распыления для германия равен 25 атом/кластер, а для кремния — 20 атом/кластер. Установлено, что для одной и той же мишени максимальный коэффициент распыления и максимальная энергия распыленных атомов мишени наблюдаются при разных углах падения кластеров. Определено, что средняя удельная энергия распыленных атомов мишени для германия изменяется от 2 до 8.5 эВ/атом, а для кремния — от 1.3 до 5 эВ/атом в зависимости от угла падения кластеров.

AB - Исследовано распыление однокомпонентных полупроводников, кремния и германия, кластерами аргона с помощью моделирования методом молекулярной динамики. Использованы кластеры аргона размером 923 атома и с кинетической энергией 10 кэВ. Угол падения кластеров варьировался в широком диапазоне от 0° до 75° относительно нормали к поверхности мишени. Приведены значения усредненных коэффициентов распыления и усредненных удельных энергий распыленных атомов кремния и германия для различных углов падения кластеров. Проведено сравнение угловых распределений коэффициента распыления и энергии распыленных атомов для разных мишеней. Показано, что при варьировании угла падения кластеров коэффициент распыления и удельная энергия распыленных атомов мишеней изменяются нелинейно, немонотонно и имеют выраженный максимум. Определено, что максимальный коэффициент распыления для германия равен 25 атом/кластер, а для кремния — 20 атом/кластер. Установлено, что для одной и той же мишени максимальный коэффициент распыления и максимальная энергия распыленных атомов мишени наблюдаются при разных углах падения кластеров. Определено, что средняя удельная энергия распыленных атомов мишени для германия изменяется от 2 до 8.5 эВ/атом, а для кремния — от 1.3 до 5 эВ/атом в зависимости от угла падения кластеров.

KW - МД-моделирование

KW - полупроводники

KW - кремний

KW - германий

KW - газовый кластер

KW - коэффициент распыления

KW - энергия распыленных атомов

KW - энергия когезии

U2 - 10.7868/S3034573126050046

DO - 10.7868/S3034573126050046

M3 - статья

SP - 24

EP - 28

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 5

ER -

ID: 79837450