Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия». / Богословцева, Алена Леонидовна; Шевченко, Олеся Николаевна; Гейдт, Павел Викторович.
2025. 277-279 Аннотация от VIII Международная научно-техническая конференция "Радиотехника, электроника и связь", Омск, Российская Федерация.Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
}
TY - CONF
T1 - Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»
AU - Богословцева, Алена Леонидовна
AU - Шевченко, Олеся Николаевна
AU - Гейдт, Павел Викторович
PY - 2025
Y1 - 2025
N2 - Нитрид алюминия является перспективным материалом для создания резонаторов на объёмных акустических волнах. Одним из неразрушающих подходов к контролю качества пленок является определение их оптических свойств. В данной работепленки AlN были получены с использованием магнетронного распыления. Были определены з
AB - Нитрид алюминия является перспективным материалом для создания резонаторов на объёмных акустических волнах. Одним из неразрушающих подходов к контролю качества пленок является определение их оптических свойств. В данной работепленки AlN были получены с использованием магнетронного распыления. Были определены з
M3 - тезисы
SP - 277
EP - 279
T2 - VIII Международная научно-техническая конференция "Радиотехника, электроника и связь"
Y2 - 7 October 2025 through 8 October 2025
ER -
ID: 72878071