Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › патент на изобретение
Эллипсометр миллиметрового диапазона спектра. / Кузнецов, Сергей Александрович (автор); Федоринин, Виктор Николаевич (автор); Гельфанд, Александр Витальевич (автор) и др.
Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Номер патента: 2840127. мая 19, 2025.Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › патент на изобретение
}
TY - PAT
T1 - Эллипсометр миллиметрового диапазона спектра
AU - Кузнецов, Сергей Александрович
AU - Федоринин, Виктор Николаевич
AU - Гельфанд, Александр Витальевич
AU - Кравченко, Юрий Леонидович
PY - 2025/5/19
Y1 - 2025/5/19
N2 - Изобретение относится к области измерительной техники и касается эллипсометра. Эллипсометр содержит плечо поляризатора и плечо анализатора. Плечо поляризатора состоит из источника излучения, линейного поляризатора, ориентированного под углом 45° относительно плоскости падения излучения на исследуемую поверхность, и кругового поляризатора, обеспечивающего фазовый сдвиг 90°. Плечо анализатора содержит приемник излучения миллиметрового диапазона и установленный перед приемником излучения линейно поляризационный фильтр, представляющий собой диск, выполненный с возможностью вращения и содержащий четыре осесимметрично расположенных сектора. Микроструктура секторов выполнена в виде решетки электропроводящих полос, направление каждой полосы в секторе ориентировано под углами +45°, -45°, 90°, 0° по отношению к радиус-вектору, проведенному из центра вращения к точке пересечения с полосой. Технический результат изобретения заключается в повышении значения отношения сигнал/шум при измерении интенсивности поляризованного излучения.
AB - Изобретение относится к области измерительной техники и касается эллипсометра. Эллипсометр содержит плечо поляризатора и плечо анализатора. Плечо поляризатора состоит из источника излучения, линейного поляризатора, ориентированного под углом 45° относительно плоскости падения излучения на исследуемую поверхность, и кругового поляризатора, обеспечивающего фазовый сдвиг 90°. Плечо анализатора содержит приемник излучения миллиметрового диапазона и установленный перед приемником излучения линейно поляризационный фильтр, представляющий собой диск, выполненный с возможностью вращения и содержащий четыре осесимметрично расположенных сектора. Микроструктура секторов выполнена в виде решетки электропроводящих полос, направление каждой полосы в секторе ориентировано под углами +45°, -45°, 90°, 0° по отношению к радиус-вектору, проведенному из центра вращения к точке пересечения с полосой. Технический результат изобретения заключается в повышении значения отношения сигнал/шум при измерении интенсивности поляризованного излучения.
KW - ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
KW - ПОЛЯРИЗАЦИОННЫЙ ФИЛЬТР
KW - ТЕРАГЕРЦОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
KW - МИЛЛИМЕТРОВЫЕ ВОЛНЫ
KW - ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОСТОЯННЫЕ
KW - МЕТАПОВЕРХНОСТЬ
KW - МИКРОДИСПЕРСИОННЫЕ СРЕДЫ
KW - ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРИЕМНИКИ
M3 - патент на изобретение
M1 - 2840127
Y2 - 2024/10/31
PB - Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности
ER -
ID: 60761800