Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях

Егоров, Д. А., Азаров, И. А. & Володин, В. А., 4 окт. 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Патент/Св-во № 2022668094, Дата приоритета 28 сент. 2022, № приоритета 2022667509

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации программы для ЭВМ

Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии

Азаров, И. А., 20 дек. 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Патент/Св-во № 2022685005, Дата приоритета 13 дек. 2022, № приоритета 2022684414

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации программы для ЭВМ