Коробейщиков, Н. Г.,
Николаев, И. В.,
Стишенко, П. В. &
Яковлева, М. В.,
дек. 2025,
в: Materials Science in Semiconductor Processing. 200,
11 стр., 110016.
Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
