Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 79. Dec 22, 2022.

Research output: Patent › Know-how registration

@misc{66aa232eb29b40c083ac6287aaf590ed,

title = "Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек",

keywords = "ГЕРМАНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ",

author = "Уткин, {Дмитрий Евгеньевич} and Шкляев, {Александр Андреевич}",

year = "2022",

month = dec,

day = "22",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "79",

}

TY - PAT

T1 - Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

AU - Уткин, Дмитрий Евгеньевич

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

KW - ГЕРМАНИЙ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ

KW - ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

KW - ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 79

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 42221970