Standard

Harvard

APA

Vancouver

Author

BibTeX

@article{5564237ce08d47beb084a7f66b3f964a,
title = "Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья]",
abstract = "Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.",
author = "Царев, {Андрей Владимирович}",
note = "Царев А.В. Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья] // Автометрия. - 2020. - Т. 56. - № 4. - С. 111-133",
year = "2020",
month = aug,
day = "31",
doi = "10.15372/AUT20200413",
language = "русский",
volume = "56",
pages = "111--133",
journal = "Автометрия",
issn = "0320-7102",
publisher = "ФГУП {"}Издательство СО РАН{"}",
number = "4",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья]

AU - Царев, Андрей Владимирович

N1 - Царев А.В. Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья] // Автометрия. - 2020. - Т. 56. - № 4. - С. 111-133

PY - 2020/8/31

Y1 - 2020/8/31

N2 - Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.

AB - Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44052507

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/4f96f8aa-6c19-36ed-a245-447922669e4f/

U2 - 10.15372/AUT20200413

DO - 10.15372/AUT20200413

M3 - обзорная статья

VL - 56

SP - 111

EP - 133

JO - Автометрия

JF - Автометрия

SN - 0320-7102

IS - 4

M1 - 13

ER -

ID: 25554552